切割后的坩堝---自來水沖洗---次酸處理---自來水沖洗---二次酸處理---高純水沖洗---烘干---高純氮氣吹掃---真空封裝同時沖入少量高純氮氣。
此工藝應注意的事項如下：
- 高純水的純度須大于15MΩ，并反復沖洗
- 包裝吹掃間要在潔凈室內完成
- 包裝塑料須是防靜電的
- 氮氣的純度，露點應大于-70℃
- 氫氟酸處理要特別注意酸的濃度和處理時間，推薦如下：將產品放入加過“溶脂劑”的去離子水或蒸餾水中，然后，將其浸入濃度為7%（最高濃度）的氟化氫氨溶液中不超過10min；或放入濃度為10%（體積比最高濃度）的氫氟酸溶液中不超過5min。表面的浸蝕不但會除去表面上的污染物，也會去掉少量的熔凝石英成分。為了避免水跡斑痕吸灰和再隨后的加熱情形下引起析晶，應將熔凝石英在去離子水中多次漂洗并迅速使之干燥。
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